1、潔凈廠房用凈化空調(diào)系統(tǒng)通常不能像一般空調(diào)系統(tǒng)那樣按區(qū)域進(jìn)行劃分，也不能夠簡(jiǎn)單地按空氣潔凈度等級(jí)劃分，通常有如下的劃分原則。
（1）凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)與一般空調(diào)系統(tǒng)、兩級(jí)過(guò)濾送風(fēng)系統(tǒng)分開(kāi)設(shè)置。
（2）運(yùn)行班次、操作運(yùn)行規(guī)律或使用時(shí)間不同的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)分開(kāi)設(shè)置。
（3）產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)有毒、有害易燃易爆物質(zhì)或氣體的工序或房間或會(huì)產(chǎn)生交叉污染等的房間，應(yīng)分別設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)。
（4）溫度、濕度的控制要求或精度要求差別較大者分別設(shè)置。
（5）單向流潔凈室與非單向流潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)要分別設(shè)置。
（6）凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分宜照顧送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)管道的布置，盡量合理布置、使用方便，力求減少各種風(fēng)管的交叉重疊;必要時(shí)，對(duì)系統(tǒng)中的個(gè)別房間可單獨(dú)設(shè)溫度、濕度調(diào)節(jié)裝置。
2、集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)
是將凈化空調(diào)處理設(shè)備集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房，送風(fēng)、回風(fēng)均通過(guò)風(fēng)管與潔凈室相通。集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)又可分為單風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、雙風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、風(fēng)機(jī)串聯(lián)和風(fēng)機(jī)并統(tǒng)等。各類(lèi)系統(tǒng)均各有特點(diǎn)和*的適用場(chǎng)所，應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目特點(diǎn)進(jìn)行運(yùn)用，比如風(fēng)機(jī)串聯(lián)凈化空調(diào)系統(tǒng)，設(shè)有溫濕度處理風(fēng)機(jī)、凈化循環(huán)總風(fēng)機(jī)，對(duì)于循環(huán)風(fēng)量較大系統(tǒng)，無(wú)需將循環(huán)風(fēng)回至空調(diào)機(jī)組進(jìn)行熱、濕處理，為降低造價(jià)，運(yùn)行能耗，可將空調(diào)與凈化分開(kāi)，熱、濕處理風(fēng)量小采用小風(fēng)機(jī)，凈化處理風(fēng)量大采用大風(fēng)機(jī)，并將二臺(tái)風(fēng)機(jī)串聯(lián)使用。
3、分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)
這種系統(tǒng)通常是在一般空調(diào)環(huán)境或較低級(jí)別的凈化生產(chǎn)環(huán)境內(nèi)設(shè)置局部?jī)艋O(shè)施或凈化設(shè)備或凈化空調(diào)設(shè)備的凈化空調(diào)系統(tǒng)總稱，，這種凈化空調(diào)系統(tǒng)類(lèi)型很多。
4、幾種凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)方式介紹
隨著電子科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，尤其是半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的迅猛發(fā)展，對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求越來(lái)越嚴(yán)格，現(xiàn)今超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求控制潔凈室空氣中粒徑達(dá)50mm、微粒濃度達(dá)ISO1級(jí)并對(duì)化學(xué)分子污染物進(jìn)行控制，因此在集成電路芯片工廠潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)發(fā)生了很大變化，目前主要是有隧道式送風(fēng)方式、風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元/模塊式風(fēng)機(jī)單元送風(fēng)方式、集中送風(fēng)方式和開(kāi)放式潔凈室+微環(huán)境的送風(fēng)方式等。